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MSD-150D 桌上型成像儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 合肥重光電子科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) MSD-150D
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/5/22 10:29:37
  • 訪問(wèn)次數(shù) 353
產(chǎn)品標(biāo)簽

顯影涂膠顯影成像裝置光刻顯影

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     合肥重光電子科技有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事儀器設(shè)備的生產(chǎn)商。針對(duì)國(guó)家大力扶持的太陽(yáng)能電池和半導(dǎo)體等科技領(lǐng)域。

        我司有專(zhuān)業(yè)的檢測(cè)儀器和工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備,能夠滿足不同客戶的打樣和定制化需求。同時(shí)我司與中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)微納加工平臺(tái)、合肥工業(yè)大學(xué)微納加工平臺(tái)保持技術(shù)上的交流,能有效幫助客戶解決工藝問(wèn)題。

        我司提供產(chǎn)品的定制化代工業(yè)務(wù),滿足客戶對(duì)自營(yíng)品牌的需求,讓客戶從而實(shí)現(xiàn)資產(chǎn)輕量化運(yùn)營(yíng)。

        ‍‍我司產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):提供定制化服務(wù),滿足客戶多樣化需求,從而為客戶節(jié)約更多科研經(jīng)費(fèi)。其中低速勻膠平穩(wěn),結(jié)束低粘度光阻勻膠依賴進(jìn)口品牌。

 

 

 

勻膠、熱板、顯影、等離子、光刻設(shè)備

桌上型成像儀MSD-150D用于對(duì)顯影均勻性和一致性要求較高的表面處理工藝,適合硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵等。主要應(yīng)用于4、6寸晶圓及方片.適合高校、研究所和企業(yè)客戶。

本司也提供8寸、12寸桌上型顯影機(jī),更多功能如吹氣、背洗等請(qǐng)咨詢。

桌上型成像儀技術(shù)規(guī)格:

項(xiàng)目

規(guī)格

 

 

主體

外殼材質(zhì):鏡面不銹鋼

處理樣品尺寸:6寸晶圓以內(nèi)

承盤(pán):PTFE

馬達(dá):

轉(zhuǎn)速:20-3000 R.P.M

搖臂:自動(dòng)

操作界面:7寸觸摸屏

 

顯影裝置

藥液裝置:

顯影 x1(控溫可選)

DIW  x1

 

 

控制系統(tǒng)

系統(tǒng): PLC

使用接口:7寸觸屏

配方:手動(dòng)和自動(dòng)模式

編程 : 50 組 20 步

 

 

安全裝置

晶圓承盤(pán)真空滲液保護(hù):

真空檢知:

數(shù)字設(shè)定:真空值下限保護(hù)

運(yùn)行結(jié)束報(bào)警提示

 

 

附件

真空泵x1

顯影罐x1

去離子水罐x1

廢液桶x1

真空吸盤(pán)x1

 

 



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