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GEN200 分子束外延MBE

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

分子束外延MBE薄膜沉積

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng)，軟件著作權(quán) 14 項(xiàng)，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái)，快速退火爐，光刻機(jī)，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

Veeco 的 GEN200® MBE 系統(tǒng)是當(dāng)市場上具成本效益和高容量的多 4 英寸生產(chǎn) MBE 系統(tǒng)。該系統(tǒng)在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等設(shè)備的生長中提供的吞吐量、長時(shí)間的加工周期和出色的晶圓質(zhì)量。 

提供成本低的 4 x 4“ 外延片生長

與同類 MBE 系統(tǒng)相比，模塊化架構(gòu)的占用空間要小得多

允許多兩個(gè)生長模塊，從而提高產(chǎn)量或允許處理不相容的材料

可選的隔板安裝優(yōu)化了潔凈室空間

集成了業(yè)界具創(chuàng)新性、可靠的系統(tǒng)硬件、源和組件

Veeco 的 GEN200® MBE 系統(tǒng)是當(dāng)市場上具成本效益和高容量的多 4 英寸生產(chǎn) MBE 系統(tǒng)。該系統(tǒng)在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等設(shè)備的生長中提供的吞吐量、長時(shí)間的加工周期和出色的晶圓質(zhì)量。 




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